產(chǎn)品展示
HKD-11128STGF半導(dǎo)體硅清洗設(shè)備
【簡單介紹】
【詳細(xì)說明】
全自動硅片清洗設(shè)備特點: 進(jìn)口伺服驅(qū)動機(jī)構(gòu)及機(jī)械手臂,清洗過程中無需人工操作。 通過PLC實現(xiàn)控制,全部操作通過觸摸屏界面一次完成??深A(yù)先設(shè)制多條清洗工藝,可同時運行多條工藝。 自動化程度高,適用于批量生產(chǎn),確保清洗質(zhì)量的*性。 自動氮氣鼓泡裝置可有效提高產(chǎn)品質(zhì)量,縮短清洗時間??蛇x裝層流凈化系統(tǒng)及自動配酸裝置。
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