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PM216L真空等離子處理機

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品       牌

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更新時間:2024-11-28 12:54:36瀏覽次數(shù):7次

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產(chǎn)品簡介

編號項目技術(shù)參數(shù)1機臺整機規(guī)格1450mm(W)times;1720mm(H)times;1150 mm(D)2真空室規(guī)格進口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mm3電極板規(guī)格10層平板式電極板(560(W)times;500(D)mm)可定制4控制系統(tǒng)觸摸屏+PLC控制5真空測定系統(tǒng)皮拉尼電阻式真空計6氣體計量系統(tǒng)精確質(zhì)量流量控制計 MFC7氣體路數(shù)2mdash;5路工作氣體可選:Ar2、N2、H2、CF4、O28等離子發(fā)生器500W1KW等離子體發(fā)生源,40KHz(可選13.56MHz)9工···

詳細介紹

編號

項目

技術(shù)參數(shù)

1

機臺整機規(guī)格

1450mm(W)×1720mm(H)×1150 mm(D)

2

真空室規(guī)格

進口鋁 600(W)×600(H)×600(D)mm

3

電極板規(guī)格

 10層平板式電極板(560(W)×500(D)mm)可定制

4

控制系統(tǒng)

觸摸屏+PLC控制

5

真空測定系統(tǒng)

皮拉尼電阻式真空計

6

氣體計量系統(tǒng)

精確質(zhì)量流量控制計 MFC

7

氣體路數(shù)

2—5路工作氣體可選:Ar2N2、H2、CF4、O2

8

等離子發(fā)生器

500W&1KW等離子體發(fā)生源,40KHz(可選13.56MHz)

9

工作氣體

2路工作氣體可選:Ar2N2、H2、O2

特 點:高精度,快響應(yīng),良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。

用 途:適用于攝像頭及行業(yè),手機制造、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域,硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域,汽車電子行業(yè),航空工業(yè)等。

1、印制線路板行業(yè):高頻板表面活化,多層板表面清潔、去鉆污,軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污,軟板補強前活化。

2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域:COB、COG、COF、ACF工藝,用于打線、焊接前的清洗;

3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。


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