奧坤鑫（蘇州）機(jī)電科技有限公司
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更新時間：2024-11-28 12:48:14瀏覽次數(shù)：18次
聯(lián)系我時，請告知來自 百分零部件網(wǎng)編號項(xiàng)目技術(shù)參數(shù)1機(jī)臺整機(jī)規(guī)格1820mm(W)times;1100mm(D)times;1860mm（H）2真空室規(guī)格進(jìn)口合金鋁1140(W)×1550（D)×1130(H) mm3電極板規(guī)格16層垂直式式電極板（850mmtimes;550mm）4控制系統(tǒng)PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制5真空測定系統(tǒng)皮拉尼電阻式真空計(jì)6氣體計(jì)量系統(tǒng)精確質(zhì)量流量控制計(jì)MFC7氣體路數(shù)2mdash;5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O28等離子發(fā)生器10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）9工···
編號 | 項(xiàng)目 | 技術(shù)參數(shù) |
1 | 機(jī)臺整機(jī)規(guī)格 | 1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm（H） |
2 | 真空室規(guī)格 | 進(jìn)口合金鋁1140(W)×1550（D)×1130(H) mm |
3 | 電極板規(guī)格 | 16層垂直式式電極板（850mm×550mm） |
4 | 控制系統(tǒng) | PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制 |
5 | 真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼電阻式真空計(jì) |
6 | 氣體計(jì)量系統(tǒng) | 精確質(zhì)量流量控制計(jì) MFC |
7 | 氣體路數(shù) | 2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2 |
8 | 等離子發(fā)生器 | 10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz） |
9 | 工作氣體 | 2路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、O2 |
特 點(diǎn)：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持。 | ||
用 途：適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。 | ||
1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補(bǔ)強(qiáng)前活化。 2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗。 3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。 | ||
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