2179A MKS質量流量控制器和截止閥

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產(chǎn)品簡介

2179A2179AMKS質量流量控制器和截止閥的詳細資料：2179AMKS質量流量控制器和截止閥2179A是通用彈性體密封質量控制器和完整的截止閥

詳細介紹

2179A2179A MKS質量流量控制器和截止閥的詳細資料：

2179A MKS質量流量控制器和截止閥

2179A是通用彈性體密封質量控制器和完整的截止閥。用于各種氣體測量和控制流量。當連接到一個合適的壓力傳感器它可以用作壓力控制器。截止閥狀態(tài)為常閉，閥精確率4x10-9scc/sec。2179A輸出信號有模擬和數(shù)字模擬。滿量程的精度為1%。2179A所需功率低單位操作100mA消耗為±15VDC（200mA開啟）。

2179A MKS質量流量控制器和截止閥

例如：型2179a00411cr16vxx

氣體選型
Helium, He	001
Argon, Ar	004
Hydrogen, H2	007
Nitrogen, N2	013
Oxygen, O2	015
流量選型，單位SCCM（20000 N2當量）
10	11C
20	21C
50	51C
100	12C
200	22C
500	52C
1000	13C
2000	23C
5000	53C
10000	14C
20000	24C
配件
標準：（兼容）Swagelok® 4 VCR® male	R
可選：（兼容）Swagelok 4 VCO® male	G
可選：（兼容）Swagelok 1/4" tube	S
長度適配器w/ 4 VCR配件	L
長度適配器w/ 1/4" Swagelok配件*	W
閥
常閉	1
連接器
模擬：
9針“D"類型	A
15針“D"類型	B
20針邊緣卡	C
單元組合儀表15針“D"類型	N
微孔15針“D"類型	T
連接器
數(shù)字：
RS-485	5
DeviceNet™	6
密封
標準：Viton®	V
可選：Neoprene®	N
可選：Buna-N	B
可選：Kalrez®	K
固件版本（DeviceNet只）
除非另有規(guī)定，MKS公司將給當前的版本	XX