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上海路陽(yáng)儀器有限公司

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美國(guó)路陽(yáng) 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈 wafer晶圓顆粒缺陷檢查燈LUYOR-3325G系列是一款黃綠光表面檢查燈，檢測(cè)燈的原理利用適合的LED燈源，通過(guò)led發(fā)光，經(jīng)過(guò)光學(xué)透鏡聚焦的光源，照在工件表面折射出光路，使得操作員肉眼可識(shí)別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點(diǎn)，取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機(jī)臺(tái)，直接通過(guò)照明光線和肉眼，觀測(cè)出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵，極大的節(jié)省了一般工廠的

詳細(xì)介紹

美國(guó)路陽(yáng) 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈LUYOR-3325G

wafer晶圓顆粒缺陷檢查燈LUYOR-3325G系列是一款黃綠光表面檢查燈，檢測(cè)燈的原理利用適合的LED燈源，通過(guò)led發(fā)光，經(jīng)過(guò)光學(xué)透鏡聚焦的光源，照在工件表面折射出光路，使得操作員肉眼可識(shí)別出工件表面的灰塵、刮痕、毛刺、凹凸、油墨等瑕疵點(diǎn)，取代傳統(tǒng)的照明設(shè)備和光學(xué)系統(tǒng)機(jī)臺(tái)，直接通過(guò)照明光線和肉眼，觀測(cè)出一般玻璃表面、部件表面的瑕疵，極大的節(jié)省了一般工廠的采購(gòu)成本。 LUYOR-3325G檢查燈采用人眼最敏感580NM之間波長(zhǎng)光，來(lái)做zui簡(jiǎn)單與明確的判別，可檢查到1um以下的刮痕或微粒子，幾乎可檢測(cè)出所有塵埃，大大降低產(chǎn)品不良率。使用壽命為2萬(wàn)小時(shí)以上。光源強(qiáng)度可達(dá)30萬(wàn)LX，最小可以檢測(cè)1μ的表面臟污，比傳統(tǒng)的檢查燈，效用增強(qiáng)10倍.LUYOR-3325G可根據(jù)使用場(chǎng)景，使用便攜手持式或桌面式（安裝再臺(tái)式支架上）。

LUYOR-3325G為交流電源供電，可以手持式操作，也可以臺(tái)式操作。

LUYOR-3325GD為鋰電池供電，可以手持式操作，也可以臺(tái)式操作。

美國(guó)路陽(yáng) 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈

晶圓檢測(cè)：用于晶圓測(cè)試的黃綠光LED檢測(cè)燈,LUYOR-3325G專(zhuān)為晶圓質(zhì)量保證和測(cè)試而設(shè)計(jì)的光學(xué)晶圓檢測(cè)設(shè)備。

使用美國(guó)路陽(yáng) 晶圓缺陷黃綠光表面檢查燈進(jìn)行晶圓檢測(cè)：

使用無(wú)紫外線輻射的黃綠光燈進(jìn)行晶圓檢測(cè)
更換用于晶圓檢測(cè)的紫外燈
在不使用汞蒸氣燈的情況下測(cè)試晶圓
設(shè)計(jì)為濾波綠光燈或?yàn)V光黃光燈，用于晶圓檢測(cè)
使用無(wú)紫外線和無(wú)汞的SECU-CHEK晶圓測(cè)試燈進(jìn)行晶圓表面檢測(cè)

為什么使用LUYOR-3325G半導(dǎo)體檢測(cè)燈進(jìn)行晶圓表面檢測(cè)？

晶圓生產(chǎn)所需的高工藝可靠性
需要經(jīng)濟(jì)高效且無(wú)gu障的測(cè)試操作
晶圓測(cè)試對(duì)于晶圓制備和芯片生產(chǎn)的進(jìn)一步成本密集型步驟至關(guān)重要
根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的專(zhuān)業(yè)解決方案

晶圓生產(chǎn)中存在哪些誤差，LUYOR-3325G半導(dǎo)體檢測(cè)燈的識(shí)別能力如何？

使用過(guò)濾后的黃光燈可以很好地檢測(cè)到晶圓的缺陷
通過(guò)晶圓測(cè)試檢測(cè)夾雜物
通過(guò)目視晶圓測(cè)試檢測(cè)污染物
用黃綠光觀察生長(zhǎng)障礙
在光學(xué)晶圓測(cè)試期間識(shí)別面紗
使用LUYOR晶圓檢測(cè)燈分析條紋
與用于晶圓測(cè)試的紫外燈和汞燈相比，可以更好地檢測(cè)微觀結(jié)構(gòu)
通過(guò)晶圓檢測(cè)檢測(cè)生長(zhǎng)孔
檢查黃綠色燈的高對(duì)比度邊緣變平
在光學(xué)晶圓檢測(cè)中可以發(fā)現(xiàn)邊緣干擾
使用晶圓上的質(zhì)量檢測(cè)燈檢測(cè)結(jié)構(gòu)變化
使用紫外黃光和綠光燈檢測(cè)晶圓生產(chǎn)中的夾雜物
用過(guò)濾后的黃光燈識(shí)別不均勻

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