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DMS SEMI系列電子級隔膜泵

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產品簡介

SEMI T（帶脈動阻尼器）SEMI HSEMI ESEMI S *SEMI系列泵是專門為半導體行業(yè)開發(fā)的隔膜泵系列，這個系列隔膜泵的組裝均是在100級潔凈室內完成。*SEMI系列泵的每一個部件在組裝時都經(jīng)過雙重清潔并經(jīng)過去離子水的測試，最終密封在塑料殼內。*SEMI T和SEMI H泵接觸液體的部分由PTFE/TMF制成，SEMI E泵接觸液體的部分由超純聚乙烯制成。*SEMI 系列泵在選擇時必須嚴格根據(jù)液體類型來選擇合適的泵。*SEMI E泵在使用時必須嚴格控制操作壓力（6bar）和液體溫度（70℃）。*SEMI T、SEMI H和SEMI S泵工作溫度和驅動的壓力限制不同，具體要求如下表所示：驅動空氣壓力6BAR5BAR4BAR3BAR2BAR允許溫度-SEMI T100℃110℃120℃130℃130℃允許溫度-SEMI H100℃130℃150℃180℃200℃允許溫度-SEMI E70℃70℃70℃70℃70℃允許溫度-SEMI S130℃130℃130℃130℃130℃ 注：SEMI T 材質TFM/PTFE、UPPE 尺寸10、20、50、100 輸送酸性液體、......

詳細介紹

SEMI T（帶脈動阻尼器）

SEMI H

SEMI E

SEMI S

*SEMI系列泵是專門為半導體行業(yè)開發(fā)的隔膜泵系列，這個系列隔膜泵的組裝均是在100級潔凈室內完成。
*SEMI系列泵的每一個部件在組裝時都經(jīng)過雙重清潔并經(jīng)過去離子水的測試，最終密封在塑料殼內。
*SEMI T和SEMI H泵接觸液體的部分由PTFE/TMF制成，SEMI E泵接觸液體的部分由超純聚乙烯制成。
*SEMI 系列泵在選擇時必須嚴格根據(jù)液體類型來選擇合適的泵。
*SEMI E泵在使用時必須嚴格控制操作壓力（6bar）和液體溫度（70℃）。
*SEMI T、SEMI H和SEMI S泵工作溫度和驅動的壓力限制不同，具體要求如下表所示：

驅動空氣壓力	6BAR	5BAR	4BAR	3BAR	2BAR
允許溫度-SEMI T	100℃	110℃	120℃	130℃	130℃
允許溫度-SEMI H	100℃	130℃	150℃	180℃	200℃
允許溫度-SEMI E	70℃	70℃	70℃	70℃	70℃
允許溫度-SEMI S	130℃	130℃	130℃	130℃	130℃

注：
SEMI T 材質TFM/PTFE、UPPE 尺寸10、20、50、100 輸送酸性液體、腐蝕液體
SEMI H 材質TFM/PTFE、PTFE 尺寸10、20 輸送熱酸性和腐蝕性液體
SEMI E 材質UPPE 尺寸10、20、50、100 輸送泥漿
SEMI S 材質SS 316L 尺寸20、50 輸送化學溶劑

SEMI系列外形尺寸說明
mm	A	B	C	D	E	F	G	H	I	K	L	M	N
SEMI 10	184	112	72	28	10.5	95	145	114	57	133	68	79.5	37
SEMI 20	207	109	98	35	10.5	109	163	154	75	172	91	115	32
SEMI 50	255	157	98	46	19	113	195	207	104	215	110	165	33
SEMI 100	315	196	119	57	19	138	238	269	135	267	138	225	39

mm	O	Q	R	S	T	U	V	W	X
SEMI 10	105	155	155	36	110	245	3/8" NPT	1/4" NPT	3/8"
SEMI 20	139	200	163	46	110	287	1/2" NPT	1/4" NPT	1/2"
SEMI 50	177	258	224	59	150	346	1" NPT	1/4" NPT	1"
SEMI 100	223	322	298	80	213	428	1 1/4" NPT	1/4" NPT	1 1/4"