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MEMS雙軸加速度計(jì)823DC靜態(tài)響應(yīng)加速度傳感器

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MEMS雙軸加速度計(jì)823DC靜態(tài)響應(yīng)加速度傳感器：特點(diǎn)：DC靜態(tài)響應(yīng)，動(dòng)態(tài)1000Hz響應(yīng)V813/823系列產(chǎn)品是一款用來測(cè)量靜態(tài)加速度和低頻振動(dòng)的高靈敏度變?nèi)菔郊铀俣葌鞲衅?，其特點(diǎn)是采用變?nèi)菔組EMS硅晶片為敏感元件，該敏感元件由一個(gè)很小的慣性質(zhì)量塊和一個(gè)撓性元件組成，該撓性元件位于兩塊極板之間

詳細(xì)介紹

MEMS雙軸加速度計(jì)823DC靜態(tài)響應(yīng)加速度傳感器：

特點(diǎn)： DC靜態(tài)響應(yīng)，動(dòng)態(tài)1000Hz響應(yīng)

V813/823系列產(chǎn)品是一款用來測(cè)量靜態(tài)加速度和低頻振動(dòng)的高靈敏度變?nèi)菔郊铀俣葌鞲衅?，其特點(diǎn)是采用變?nèi)菔組EMS硅晶片為敏感元件，該敏感元件由一個(gè)很小的慣性質(zhì)量塊和一個(gè)撓性元件組成，該撓性元件位于兩塊極板之間。隨著質(zhì)量塊在加速度作用下發(fā)生偏轉(zhuǎn)，這些極板之間的電容也會(huì)發(fā)生變化；包含了交流激勵(lì)和同步調(diào)制解調(diào)電路的加速度傳感器內(nèi)部信號(hào)調(diào)節(jié)器輸出與應(yīng)用加速度成正比的模擬輸出信號(hào)，單端信號(hào)輸出值為 2.5±2V, 由單端穩(wěn)壓電源提供5.5~30Vdc的供電。敏感元件和電路組件一起封裝在小型輕巧，線纜一體輸出的氧化鋁外殼中，信號(hào)地與測(cè)試對(duì)象絕緣隔離。V813/823加速度傳感器的安裝可以通過粘合劑安裝也可以用M3的公制螺絲安裝。此產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于需要精確測(cè)量的研發(fā)領(lǐng)域，同時(shí)產(chǎn)品封裝也適合在嚴(yán)苛的環(huán)境中使用。

輸出, ±10%, 24°C............................................................ ±2000 mV
加速度量程(g) ..................................................... 2/5/10/50/200
非線性度 ..................................................... 1%
頻響范圍Frequency response(+/-3dB):
2g.................................................................................... 0 - 400 Hz
5g.................................................................................... 0 - 400 Hz
10g.................................................................................. 0 - 500 Hz
50g.................................................................................. 0 - 500 Hz
200g................................................................................ 0 - 1000 Hz
橫向靈敏度, max............................................. 3% of axial
電氣參數(shù)Electrical
電源Power requirement: ………………................................... 5.5 - 30 VDC
零點(diǎn)電壓Zero voltage..................................................................... 2.5±0.1V
電流功耗Current consumption ....................................................... <8 mA
噪聲Residual noise, Broadbａnd Spectral:
5g/10g………................................................................... 500μVRMS
2g/50g………................................................................... 1000μV RMS
200g………...................................................................... 1300μV RMS
Output impedance............................................................ <100Ω
Insulation resistance(@500Vdc)...................................... >100 MΩ
Turn-on time……………………….................................... <100 mS
Environmental
工作溫度范圍Temperature range.......................................................... –40 to 85°C
Thermal zero shift(max. ref.24°C)................................... ±2%FSO
Thermal sensitivity shift(max. ref.24°C).......................... ±2%
Vibration limit................................................................... 100 g peak
沖擊極限Shock limit........................................................................ 5,000 g peak
IP防護(hù)等級(jí)Sealing ............................................................................. IP67