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美國TE超聲波液位傳感器MEAS SL-900型系列超聲微測量系統(tǒng)

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產(chǎn)品簡介

在化學(xué)氣相沉積過程中精確而可靠地測量液位對半導(dǎo)體晶片制造過程而言及其重要

詳細介紹

在化學(xué)氣相沉積過程中精確而可靠地測量液位對半導(dǎo)體晶片制造過程而言及其重要。 Measurement Specialties SL-900 系列可提供單個或多個具有很高精度的離散點液位。SL-900 系列超聲系統(tǒng)非常適合高粘度液體，如 DMAH、鈦前驅(qū)物和銅前驅(qū)物。SL-900系列超聲波微測量系統(tǒng)是半導(dǎo)體工業(yè)中超純化學(xué)流體檢測和測量的理想解決方案。傳感器通過VCR安裝在容器頂部，用于安裝在液體介質(zhì)中的單個/多個離散點水平的金屬墊片面密封。電子產(chǎn)品產(chǎn)生一個連續(xù)波超聲波信號，照亮液體傳感區(qū)域。傳感區(qū)域中液體的缺乏導(dǎo)致超聲波信號的消散，這是電子學(xué)意義上的。作為一種“干燥"狀態(tài)。當(dāng)液體存在時，超聲波信號的振幅增大，電子學(xué)認為這是一種“濕"狀態(tài)。

優(yōu)點

316 L 不銹鋼加工傳感器主體
傳感器材料經(jīng)電解拋光處理（Ra = 25 µin – 最小值）
微型傳感器大小有助于減少液體容量位移
無論化學(xué)液體的電介質(zhì)、粘度、顏色、密度和不透明度如何，皆適用于以下化學(xué)物質(zhì)：DMAH、TAETO、CVD、TDEAT、CUTMUS、TEOS、DCE、TCA
高達 250 PSIG (1724 kPa) 的高壓容器應(yīng)用（有關(guān)超出此值的高壓應(yīng)用，請咨詢廠商）
每個分離點位的精確度為 ±2 mm
典型的 ±1 mm 重復(fù)性
對于 5/8" 管和 1/2" 管，自容器底部的單點低液位分別低至 1/4" (6mm) 和 5/16"