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霍尼韋爾/Honeywell數(shù)字式氣體質(zhì)量流量傳感器HAF系列 10~300 SLPM

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霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿(mǎn)量程流量范圍及溫度補(bǔ)償范圍內(nèi)讀取氣流數(shù)據(jù)提供一個(gè)數(shù)字界面。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助傳感器對(duì)空氣流或其他氣流做出快速響應(yīng)。這些傳感器根據(jù)熱傳遞原理測(cè)量氣流的質(zhì)量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機(jī)電傳感系統(tǒng) (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設(shè)計(jì)的氣流通道內(nèi)，提供對(duì)于流量的可重復(fù)響應(yīng)。

詳細(xì)介紹

工作特性：

特性	參數(shù)值
供電電壓	3VDC-10VDC
供電電流	20mA
工作溫度范圍	-20~+70℃
補(bǔ)償溫度范圍	0~50℃
零點(diǎn)精度	滿(mǎn)量程的 ±0.5%
響應(yīng)時(shí)間	1ms（典型值）
預(yù)熱時(shí)間	35ms
校準(zhǔn)氣體	清潔、干燥的氣體
總線(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)	I2C，快速模式（小于400 KHZ）
耐壓	150psig
爆破壓力	200psig

額定參數(shù)：

特性	參數(shù)值
供電電壓	-0.3VDC-11.0VDC
輸出引腳電壓	-0.3Vdc-3.0Vdc
儲(chǔ)存溫度范圍	-40~+100℃
流量變化	10000 SLPM/S
共模壓力	60PSI
流量	350 SLPM