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Pfeiffer 普發(fā) AMPC 空氣分子污染監(jiān)控系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)pfeiffer普發(fā)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

類型：空氣分子污染監(jiān)控系統(tǒng)品牌：pfeiffer普發(fā)型號(hào)：AMPC描述：普發(fā)污染管理解決方案

詳細(xì)介紹

Pfeiffer 普發(fā) AMPC 空氣分子污染監(jiān)控系統(tǒng)

普發(fā) AMPC 空氣分子污染監(jiān)控系統(tǒng).jpg

產(chǎn)品規(guī)格：

應(yīng)用:
空氣分子污染, 用于無(wú)菌室
其他特性:
實(shí)時(shí), 多點(diǎn)式

產(chǎn)品介紹：

IC 工廠中的空氣分子污染 (AMC) 被稱為產(chǎn)量損失的主要因素。為了控制和了解污染的來(lái)源，Pfeiffer 真空現(xiàn)在為半導(dǎo)體市場(chǎng)提供了一個(gè)的解決方案來(lái)監(jiān)控潔凈室以及設(shè)備前端模塊。

客戶受益
■ 實(shí)時(shí)化合物測(cè)量（酸，堿，有機(jī)化合物）
■ 創(chuàng)新軟件管理取樣線優(yōu)先級(jí)，質(zhì)量檢查（QC）和報(bào)警
■ 96 條采樣線集合到一個(gè)工具（最多 8 個(gè)分析儀）
■ 高通量（三個(gè)內(nèi)分析和清洗分鐘）
■ 從一條采樣線到另一條采樣線之間沒

有交叉污染。AMPC 采用創(chuàng)新的集成閥門設(shè)計(jì)，集成了的分析儀，用于檢測(cè)和量化酸、堿和有機(jī)化合物。

AMPC 系列包括兩種工具：AMPC S 和 AMPC L，其外部尺寸、線路數(shù)量和選項(xiàng)不同。

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