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硅壓阻式MEMS振動傳感器

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MEMS加速度計是MEMS領(lǐng)域較早開始研究的力傳感器之一

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硅壓阻式MEMS振動傳感器

硅壓阻式MEMS振動傳感器

MEMS加速度計是MEMS領(lǐng)域較早開始研究的力傳感器之一。經(jīng)過多年的發(fā)展，MEMS加速度傳感器的設(shè)計和加工技術(shù)已經(jīng)日趨成熟。根據(jù)敏感機理不同，MEMS加速度傳感器可以分為壓阻式、熱流式、諧振式和電容式等。壓阻式MEMS加速度傳感器容易受到壓阻材料影響，溫度效應(yīng)嚴重、靈敏度低，橫向靈敏度大，精度不高。熱流式加速度計受傳熱介質(zhì)本身的特性限制，器件頻率響應(yīng)慢、線性度差、容易受外界溫度影響。因此，熱流式和壓阻式加速度計主要用于對精度要求不高的民用領(lǐng)域或軍事領(lǐng)域中的高值測量。諧振式微加速度計理論上可以達到導(dǎo)航級的精度，但目前技術(shù)狀態(tài)還達不到實用化。而電容式硅微加速度計由于精度較高、技術(shù)成熟、且環(huán)境適應(yīng)性強，是目前技術(shù)較為成熟、應(yīng)用較為廣泛的MEMS加速度計。隨著MEMS加工能力提升和ASIC電路檢測能力提高，電容式MEMS加速度傳感器的精度也在不斷提升。

MEMS慣性傳感器的研究成果對于物體的制導(dǎo)、導(dǎo)航，各類型交通工具的自動駕駛以及各種智能穿戴設(shè)備的應(yīng)用具有重要意義。


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