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寧波市鄞州邁皓密封件有限公司


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商鋪產(chǎn)品:62條

所在地區(qū):浙江寧波市

聯(lián)系人:王延朝

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

網(wǎng)絡(luò)優(yōu)化資料:研磨盤(pán)是制造半導(dǎo)體行業(yè)超大規(guī)模集成電路用硅片的重要工藝設(shè)備

詳細(xì)介紹

網(wǎng)絡(luò)優(yōu)化資料:

研磨盤(pán)是制造半導(dǎo)體行業(yè)超大規(guī)模集成電路用硅片的重要工藝設(shè)備。常用的鑄鐵或碳鋼研磨盤(pán)使用壽命低,熱膨脹系數(shù)大。硅晶片加T工藝,尤其是高速研磨、拋光時(shí),由于研磨盤(pán)的磨損和熱變形,使得硅片平面度的和平行度難以保證。利用碳化硅陶瓷制成的研磨盤(pán),因其硬度高,磨盤(pán)磨損小,熱膨脹系數(shù)基本上與硅片相同,可高速研磨、拋光。尤其是近年來(lái),石墨對(duì)碳化硅密封件硅片的尺寸不斷增大,對(duì)硅片研磨的質(zhì)量和效率提出了更高的要求。采用碳化硅陶瓷研磨盤(pán),可大大提高硅片的研磨質(zhì)量和效率。

與此同時(shí),碳化硅陶瓷研磨盤(pán)也可以用于研磨、拋光其他材料的片狀或塊狀物體平面。隨著工業(yè)的發(fā)展,尤其是1So14000國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施,對(duì)不穩(wěn)定的環(huán)境保護(hù)液體的輸送提出了更高的要求,即V型磁力泵件。由于采用靜密封取代機(jī)械密封、填料密封等動(dòng)密封,磁力泵的泄漏小,可靠性高,使用壽命長(zhǎng)。對(duì)磁力泵一般要求的“免維護(hù)"時(shí)間為八年,碳化硅密封件批發(fā)商即要求連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)八年不能拆卸,因而對(duì)磁力泵件的材料選擇要求極其嚴(yán)格。例如泵軸、止推板、軸套等,必須耐磨損、耐腐蝕。現(xiàn)有能滿(mǎn)足以上條件的材料只適合碳化硅陶瓷。

碳化硅密封環(huán)廠(chǎng)家批發(fā)


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