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nXDS20i 愛德華干式渦旋泵

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產(chǎn)品型號nXDS20i

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愛德華真空泵

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上海赫哲真空設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

nXDS20i 是下一代無油的干式渦旋泵，可在應用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 可進行現(xiàn)場維修。

詳細介紹

概述

nXDS20i 是下一代無油的干式渦旋泵，可在應用中取代同等尺寸的干泵和中等尺寸的油封泵。nXDS 提高了傳統(tǒng) XDS 泵的性能，抽速更高，極限壓力更低，功耗更低，噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了新的端部密封，延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能，nXDS 可進行現(xiàn)場維修。

用途

一般清潔泵送應用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

速離心機

覆層

低溫學

脫氣/硫化 - 油，環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

負載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環(huán)

稀有氣體回收

冷凍制造

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

SEM/FIB（離子束維修）

溶劑回收

表面科學儀器

nXDS20i 100 - 127 V，200 - 240 V，1 相，50/60 Hz

A

特性與優(yōu)勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑，密封可的清潔和干燥真空，防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承隔離，從而阻止制程攻擊，軸承也能以更低溫度運行，使用時間更長

簡單的單側(cè)滾軸布置電機和軸承設計相結(jié)合，只需低程度的工具，就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務，因此可降低運行成本，盡可能延長正常運行時間

改進了電機和傳動效率，可降低功耗和運行成本

的接口提供了傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法，可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠程控制/監(jiān)視

數(shù)據(jù)

標稱旋轉(zhuǎn)速度 1800 rpm

排量 28.0 m3h-1 / 16.5 ft3min-1

峰值抽速 22.0 m3h-1 / 13.0 ft3min-1

極限真空（總壓力） 0.030 mbar / 0.022 Torr

待機旋轉(zhuǎn)速度 1200 rpm

速度控制精度（以全速百分比表示） 1%

轉(zhuǎn)速時的抽速 10

大連續(xù)進氣口壓力 50 mbar

電機功率（一相） 260 W

電源連接器（1 相） IEC EN60320 C13

保險絲 10A，250Vac rms

重量 25.6 kg / 56 lb

入口法蘭 NW25

排氣口法蘭 NW25

噪音級別 52 dB(A)

入口法蘭處抗振性 < 4.5 mms-1 (rms)

密封性（靜態(tài)） < 1x10-6 mbar ls-1

工作溫度范圍 10 至 40 °C / 41 至 104 °F

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nXDS20i 愛德華干式渦旋泵

上海赫哲真空設備有限公司

概述

用途

nXDS20i 100 - 127 V，200 - 240 V，1 相，50/60 Hz

A

特性與優(yōu)勢

數(shù)據(jù)

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標稱旋轉(zhuǎn)速度	1800 rpm
排量	28.0 m3h-1 / 16.5 ft3min-1
峰值抽速	22.0 m3h-1 / 13.0 ft3min-1
極限真空（總壓力）	0.030 mbar / 0.022 Torr
待機旋轉(zhuǎn)速度	1200 rpm
速度控制精度（以全速百分比表示）	1%
轉(zhuǎn)速時的抽速	10
大連續(xù)進氣口壓力	50 mbar
電機功率（一相）	260 W
電源連接器（1 相）	IEC EN60320 C13
保險絲	10A，250Vac rms
重量	25.6 kg / 56 lb
入口法蘭	NW25
排氣口法蘭	NW25
噪音級別	52 dB(A)
入口法蘭處抗振性	< 4.5 mms-1 (rms)
密封性（靜態(tài)）	< 1x10-6 mbar ls-1
工作溫度范圍	10 至 40 °C / 41 至 104 °F

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nXDS20i 愛德華干式渦旋泵

上海赫哲真空設備有限公司

概述

用途

nXDS20i 100 - 127 V，200 - 240 V，1 相，50/60 Hz

A

特性與優(yōu)勢

數(shù)據(jù)

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