一、單閥/雙閥電子壓力控制器EPC/壓力計 產品特點:
-- 測量范圍從10Pa 到 20MPA(絕壓和表壓皆可)。
-- 精確度高、重復性好,分為前壓控制和背壓控制,以及密閉容器控壓三種。
-- 標配一個壓電膜片式壓力傳感器和數字電路板,提供高精度、穩(wěn)定、可靠的壓力測量和控制。
該基本數字PC具有測量和控制所需的所有基本功能。
-- 除了配備標準的RS485輸出信號,還提供模擬I/O信號。
-- 可裝配一體式控制閥或分體式控制閥。它是一種比例式電磁控制閥,具有超快和平穩(wěn)控制的特性。
我們有不同系列的控制閥對應特定的應用領域。常規(guī)應用使用標準的直接操控閥,高流速應用使用先導閥。
二、應用領域:
-- 半導體工藝,氣相和液相色譜儀,MOCVD過程中蒸汽壓力控制,擠塑成型過程中氣體壓力保護控制,高壓釜/反應釜壓力控制等。
三、單閥/雙閥電子壓力控制器EPC/壓力計 產品參數:(如所需參數與下述列舉不同,請另行溝通咨詢)
技術參數 | 精度(包括線性和滯后性) | ≤±0.5%F.S |
壓力量程比 | 壓力計 | 1:100 |
壓力控制器 | 1:50 |
重復性 | ≤0.1% |
傳感器響應時間 | 0.2s |
控制穩(wěn)定性 | ≤±0.05%F.S(測定條件:1 L/min N2) |
運行溫度 | -10~+70℃ |
溫度敏感性 | 0.1%FS/℃ |
漏率 | 1×10-9 SCCS He |
方位影響度
(90°變化)
| <0.03 KPa(絕壓/表壓傳感器) |
<0.6 KPa(差壓傳感器) |
預熱時間 | 忽略不計 |
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機械部件 | 材質 | 不銹鋼 |
工藝連接 | G3/8" |
密封材質 | 氟橡膠/丁腈橡膠/氯丁橡膠/其他 |
防護等級(外殼) | IP40 |
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電氣特性 | 電源 | 15~24Vdc |
數字輸出 | RS485/RS232、Modbus、profibus、Devicnet等協議 |
電氣連接 | DB9 |