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濟(jì)南能華機(jī)電設(shè)備有限公司


磁控濺射脈沖電源

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介：磁控濺射脈沖電源其正負(fù)脈沖的幅值、頻率、占空比均可獨(dú)立連續(xù)可調(diào)整，適合于鍍制碳化物、氧化物、氮化物等膜層

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介： 
磁控濺射脈沖電源其正負(fù)脈沖的幅值、頻率、占空比均可獨(dú)立連續(xù)可調(diào)整，適合于鍍制碳化物、氧化物、氮化物等膜層。 
 
技術(shù)指標(biāo)：
1.交流輸入：單相220VAC、三相380VAC
2.功率因數(shù)：≥0.99（小功率電源）  ≥0.92（大功率電源）
3.效率：≥0.82
4.輸出空載電壓：≥±600V
5.輸出工作電壓：0～±500V連續(xù)可調(diào)
6.輸出電流：1A～160A，分10種規(guī)格：1KW、2KW、5KW、10KW、20KW、30KW、50KW、75KW、100 KW、200KW
7.工作方式：恒流、恒壓、恒功率任選
8.控制方式：7寸液晶觸摸屏+遠(yuǎn)程RS485計(jì)算機(jī)通信（MODBUS通信協(xié)議）
9.輸出頻率：20KHz～80KHz 連續(xù)可調(diào)
10.占 空 比：5～90%分別連續(xù)可調(diào)
11.輸出波形：單極正向直流、負(fù)向直流、正向脈沖、負(fù)向脈沖、對(duì)稱雙極正負(fù)脈沖、非對(duì)稱雙極脈沖
12.穩(wěn)流精度：≤1%
13.環(huán)境溫度：-10℃～40℃
14.冷卻方式：風(fēng)冷、水冷


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