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XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀

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XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀

詳細(xì)介紹

XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀|日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀產(chǎn)品特點(diǎn):
檢測(cè)對(duì)象氣體:胂、膦、、硅烷、氫氣等
性能參數(shù)
* 于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏
* 采用聲光報(bào)警
XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀|日本新宇宙XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀參數(shù)資料:

型號(hào) XP-703D
檢測(cè)對(duì)象氣體 半導(dǎo)體材料氣體(胂、膦、、硅烷、氫氣等)
檢測(cè)原理 熱線型半導(dǎo)體式
采樣方式 自動(dòng)吸引式
可檢測(cè)濃度
(單位:ppm)
砷烷  磷烷    硅烷  氫氣
AsH3   PH3   B2H6   SiH4  H2
0.2   0.3   0.1   0.5  1.0
檢測(cè)表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)


鉗形電流表

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