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硅晶圓精密激光切割機(jī)

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1.采用進(jìn)口紫外激光器，輸出峰值功率高，切割效率高，平均運(yùn)行時(shí)間可達(dá)30000h； 2.使用高精度線性電機(jī)模組、大理石平臺(tái)，使用CAE有限元分析計(jì)算，確保機(jī)床的各個(gè)部分強(qiáng)度滿足載荷的變化保證機(jī)床

詳細(xì)介紹

1、采用進(jìn)口紫外激光器，輸出峰值功率高，切割效率高，平均運(yùn)行時(shí)間可達(dá)30000h；
2、使用高精度線性電機(jī)模組、大理石平臺(tái)，使用CAE有限元分析計(jì)算，確保機(jī)床的各個(gè)部分強(qiáng)度滿足載荷的變化保證機(jī)床的動(dòng)態(tài)靜態(tài)精度；
3、采用德國(guó)SCANLAB高速振鏡，組合實(shí)現(xiàn)切割速度和切割效果；
4、CCD輔助定位系統(tǒng)，是高精度定位的保證；
5、應(yīng)用軟件功能強(qiáng)大，支持高精度拼接切割，MARK點(diǎn)定位切割，圖形編輯，Z軸半自動(dòng)調(diào)整等實(shí)用功能。

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