半導體冷熱測試一體機循環(huán)制冷機chiller

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產(chǎn)品型號ZL802

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更新時間：2025-01-08 15:52:12瀏覽次數(shù)：229次

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成都中冷低溫科技有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：72條

所在地區(qū)：四川成都市

聯(lián)系人：羅林波（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

半導體冷熱測試一體機循環(huán)制冷機chiller ZL802，主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

詳細介紹

半導體冷熱測試一體機循環(huán)制冷機chiller

主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精ZHUN控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。

本設備采用變頻控溫方式，提高能效，減少能耗。-20℃下目標制冷量可以達到3600W，滿足用戶制冷需求。精QUE控溫，控溫穩(wěn)定性達到±0.1℃，使用范圍廣，設定溫度：-20℃~80℃。

半導體冷熱測試一體機循環(huán)制冷機chiller

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置，CMP (工藝機械拋光)，實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

溫控精度（空載時）±0.05℃

觸摸屏操作，人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小

占地面積小、保護裝置