上海豫英工業(yè)科技有限公司
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閱讀：117發(fā)布時間：2023-9-2
根據(jù)氣浮導軌的安裝特點，氣浮導軌可分為平面閉式、圓筒閉式、重力平衡式和真空預壓式。
?。?）平面進行封閉式:在氣浮方向發(fā)展設計就是一對具有相對氣膜，形成氣膜預緊力。適用于高精度、高剛度、大載荷的氣浮導軌。
?。?）重力平衡公式:結構簡單，加工方便，但剛度較低，適用于載荷變化較小的情況。
?。?）真空預緊式：利用工作壓力氣體可以產(chǎn)生影響浮力，形成一個懸浮狀態(tài)，利用真空發(fā)生器產(chǎn)生真空，提高自身剛度。由于我國真空的吸附，止動軌具有中國雙向剛度。加上X、Y雙向數(shù)據(jù)驅動，采用單層網(wǎng)絡結構可實現(xiàn)二維運動，即結構發(fā)展具有自己封閉特性，提高了工作臺的工藝技術性能。
?。?）圓筒形外殼：氣浮導軌結構簡單，加工復雜。氣缸氣浮導軌的圓柱度和滑板間隙是由機械加工決定的，對加工工藝要求很高。承載力小，剛度差，常用于輕荷載。
節(jié)流型式對氣浮導軌承載能力的影響決定了整個工作臺的精度和承載能力。節(jié)流閥的類型如表所示。節(jié)流方式主要有孔板節(jié)流、環(huán)形節(jié)流和狹縫節(jié)流，狹縫節(jié)流和環(huán)形節(jié)流是較新的節(jié)流方式，具有承載力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點。然而，對于多孔節(jié)流而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，滲透系數(shù)主要取決于多孔材料的性能，因此很難確定其比值。在環(huán)形淺腔節(jié)流設計中，淺腔結構的深度通常在10~數(shù)十微米之間，這增加了氣浮導軌制造的技術難度，限制了這種節(jié)流裝置的使用。其他節(jié)流形式在實踐中很少使用。
孔板節(jié)流又稱簡單孔板節(jié)流或帶氣腔的噴嘴節(jié)流。它由具有直徑的供氣孔和位于孔下端的具有直徑和深度的凹形氣腔組成。氣流的最小通流面積在供氣孔和氣腔的交界處，即小孔的喉部起節(jié)流作用，其大小與膜厚的變化無關?？装骞?jié)流的特點是阻力與通過節(jié)流閥的流量近似成正比，流量取決于油膜的厚度。因為孔板孔徑小，空氣流量大，沒有時間進行熱交換。根據(jù)氣體力學理論，壓力氣體通過孔板的過程可視為絕熱過程。大量理論研究結果表明，孔板節(jié)流方式具有承載能力大、剛度高、質量流量小的優(yōu)點。
這是一個帶有一些小孔節(jié)流器的矩形區(qū)域空氣靜壓導軌的俯視圖和剖面圖。當氣浮導軌主要工作時，有壓力的氣源氣體能夠通過供氣孔時被節(jié)流。氣體從供氣孔流出后，壓力不斷降低，進入軸承氣膜并向我們四周擴散。氣流組織形成具有一定的壓力場。通過分析計算不同支承板下表面的氣膜承載力與上表面的發(fā)展環(huán)境大氣力之差，可以自己得到氣浮導軌的承載力。
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