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行業(yè)產(chǎn)品

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哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司


高速可動刀口系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間：2023-08-03 14:30:02瀏覽次數(shù)：281次

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所在地區(qū)：黑龍江哈爾濱市

產(chǎn)品簡介

一.產(chǎn)品簡介VS部件實現(xiàn)調(diào)整光刻機光學(xué)系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場尺寸以及視場內(nèi)光強的均勻性

詳細介紹

一.產(chǎn)品簡介


       VS部件實現(xiàn)調(diào)整光刻機光學(xué)系統(tǒng)中的光源現(xiàn)場尺寸以及視場內(nèi)光強的均勻性。要求刀片掃描運動與掩膜臺掃描運動同步。


二.設(shè)計原則


  1. 模塊化設(shè)計原則：根據(jù)功能分解，確定模塊結(jié)構(gòu)，集成化設(shè)計，須便于集成前的模塊離線測試。

  2. 輕量化原則：在滿足強度及模態(tài)需求情況下，降低質(zhì)量，減輕對電機出力的需求。

  3. 質(zhì)心匹配原則：電機驅(qū)動質(zhì)量與驅(qū)動力盡可能在同一平面實現(xiàn)質(zhì)心驅(qū)動，可減小附加轉(zhuǎn)矩。

  4. 尺寸約束原則：在滿足接口尺寸要求條件下，合理布局，盡可能平衡各預(yù)留尺寸。

  5. 易于裝調(diào)原則：在設(shè)計階段考慮裝調(diào)測試，以減小工裝設(shè)計和裝調(diào)的難度。

  6. 硬件安全原則：運動部件必須有安全防護裝置及限位，機械方式，其次電氣及軟件方式。


三.產(chǎn)品規(guī)格


需求名稱

指標

行程需求

VS最小開口

0.5mm*0.5mm

X向行程

總行程±22mm,其中功能行程±20mm

Y向行程

總行程±30mm，其中功能行程±28mm

Y方向運動特性

VS運動誤差(動態(tài))

±0.03mm

刀片形貌誤差

0.02mm

刀片熱變形影響

0.02mm

刀片刀口刃厚度

≤0.lmm

加速度(驗收指標)

5g

加速度(設(shè)計目標)

6g

速度(驗收指標)

0.6m/s

速度(設(shè)計目標)

0.8m/s

加速穩(wěn)定時間(驗收指標)

<8ms

加速穩(wěn)定時間(設(shè)計目標)

<6ms

反向沖擊力

<40N

X方向運動特性

VS運動位置誤差

±0.02mm

刀片形貌誤差

0.02mm

刀片熱變形影響

0.02mm

刀片刀口刃厚度

≤0.1mm

加速度

2g

速度

0.5m/s

設(shè)定時間

90ms,運動距離10mm

刀口位置

四個刀口共面

≤0.1mm

相鄰刀片斜面距離

≤0.1mm

X方向刀片相對安裝基準面垂直度(全運動行程內(nèi))

<0.02mm

Y方向刀片相對安裝基準面平行度(全運動行程內(nèi))

<0.02mm

壽命


7年

MTBF

平均時間

>10000h




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