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光學(xué)共焦顯微鏡

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地哈爾濱市

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:34條

所在地區(qū):黑龍江哈爾濱市

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一.產(chǎn)品簡(jiǎn)介HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)的新一代高空間分辨率光學(xué)共焦顯微鏡

詳細(xì)介紹

一.產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HUE-X931是哈爾濱工業(yè)大學(xué)、哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司聯(lián)合開(kāi)發(fā)的新一代高空間分辨率光學(xué)共焦顯微鏡。 產(chǎn)品系大型科學(xué)儀器,綜合了國(guó)內(nèi)外優(yōu)勢(shì)技術(shù)方案,技術(shù)密集度,能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)各類樣品表面微結(jié)構(gòu)的高分辨率三維測(cè)量。

二.使用環(huán)境

溫度要求:20℃±1℃

濕度要求:小于60%RH

隔振要求:儀器應(yīng)放在隔振基礎(chǔ)上,周圍無(wú)劇烈振動(dòng)和沖擊

電磁場(chǎng)要求:使用現(xiàn)場(chǎng)周圍無(wú)強(qiáng)電磁干擾


三.HUE-X931特征與優(yōu)勢(shì)

非接觸式3D測(cè)量:采用532nm波長(zhǎng)激光產(chǎn)生的虛擬探針進(jìn)行測(cè)量,不會(huì)劃傷樣品表面。

抗樣品反射率擾動(dòng):采用共焦傳感原理,對(duì)樣品表面測(cè)量點(diǎn)的反射率變化不敏感。高空間分辨力測(cè)量特性:橫向分辨力優(yōu)于傳統(tǒng)顯微成像,軸向分辨力達(dá)到納米級(jí)水平。

硬件模塊化設(shè)計(jì):可根據(jù)測(cè)量樣品的不同需求配置測(cè)量方案??啥ㄖ频能浖δ苣K:開(kāi)發(fā)工程師可根據(jù)用戶需求,設(shè)計(jì)提供相應(yīng)軟件模塊。


四.應(yīng)用領(lǐng)域
      輪廓測(cè)量 : 高度測(cè)量 寬度測(cè)量 形狀角度測(cè)量
      3D測(cè)量 :  體積測(cè)量 表面積測(cè)量
      粗糙度測(cè)量 :線條粗糙度測(cè)量 表面粗糙度測(cè)量

 

 

五.典型應(yīng)用
     微光機(jī)電元件(MEMOS)結(jié)構(gòu)測(cè)量

乳膠懸浮物/聚合物亞表面成像分析

材料表面/斷口特性分析
       集成電路線寬測(cè)量

 封裝對(duì)準(zhǔn)



      六.技術(shù)規(guī)格


高度測(cè)量

 測(cè)量范圍 

20mm

分辨力

1~10nm

重復(fù)性

5~ 20nm

寬度測(cè)量

分辨力

300nm

重復(fù)性

20~100nm

成像模塊


物鏡放大倍率

5/10/20/50/100倍

CCD

像素個(gè)數(shù)1628X1236

像元大小4.4μmX 4.4μm

運(yùn)動(dòng)模塊

手動(dòng)Z軸調(diào)整范圍

行程50mm,手動(dòng)鎖緊

電動(dòng)Z軸調(diào)整范圍

行程24mm,最小增量步進(jìn)10nm

電動(dòng)XY軸調(diào)整范圍

行程20mmX20mm,最小增里步進(jìn)1μm

掃描模塊掃描分辨力 

15μrad

線性度

99.9%

掃描速度

5幀/秒@256X 256像素

光源模塊

激光器

半導(dǎo)體激光器532nm波長(zhǎng)

光纖

保偏光纖輸出

 



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