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小流量氣體流量計(jì)（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)先進(jìn)的微機(jī)電（MEMS）流量傳感器芯片技術(shù)，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開(kāi)發(fā)的一款智能化、高精度可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。
小流量氣體流量計(jì)介紹：
溫度和壓力不敏感
超快的響應(yīng)速度
多種信號(hào)輸出方式
公司專注于 MEMS 流量傳感器芯片、流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器、數(shù)字風(fēng)速計(jì)等氣體流量檢測(cè)芯片和模組的研發(fā)和銷售，晶圓制造交由國(guó)外晶圓廠代工，封裝交由母公司制造平臺(tái)負(fù)責(zé)，該平臺(tái)具有9000平米千級(jí)無(wú)塵封測(cè)車間，具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品質(zhì)管理和制造認(rèn)證。相關(guān)流量計(jì)及控制器產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于氣體檢漏、氣體分析儀、實(shí)驗(yàn)室、熱氧化爐、擴(kuò)散爐等領(lǐng)域
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