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基于25年涂鍍層測量經(jīng)驗，在CMI900系列測厚儀的堅實基礎(chǔ)上，引進(jìn)全新的設(shè)計：

●新100瓦X射線管 - 市場上所能提供的大的X射線管。提高30%測量精度，同時減少50%測量時間

●更小的X射線光斑尺寸 - 新增15mil直徑準(zhǔn)直器，可測量電子器件上更小的部位。提供改進(jìn)的CCD攝像頭及縮放裝置，同時提供更高精度的Y軸控制。

●距離獨立測量（DIM） - 更靈活地特殊形狀樣品，可在DIM范圍內(nèi)12.5-90mm（0.5-3.5inch）對樣品表面進(jìn)行測量，Z軸可控制范圍為230mm（9inch）。可通過手動調(diào)整也可以通過自動鐳射聚焦來實現(xiàn)對樣品的精確對準(zhǔn)。

●自動鐳射聚焦 - 自動尋找振決的聚焦距離，改善DIM的聚焦過程并提高系統(tǒng)測量再現(xiàn)性。也可選擇標(biāo)準(zhǔn)的鐳射聚焦模式。

●全新的大型樣品室 - 更大的開槽式樣品室（580x510x230mm : 23x20x9inch）,開槽式設(shè)計可容納超大尺寸的樣品?？蓮母鱾€方向簡便的裝載和觀察樣品。

● 3種樣品臺選項 - XY程控控制(200x200mm或8x8inch移動范圍)/XY手動控制（250x250mm或10x10英寸）/固定樣品臺；標(biāo)準(zhǔn)配置Z軸程控控制(230mm或9inch移動范圍)。

●內(nèi)置PC用戶界面

主要規(guī)格	規(guī)格描述
X射線激發(fā)和檢測	牛津儀器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦點鎢靶X射線管
X射線激發(fā)和檢測	高分辨封氣(Xe)正比計數(shù)器可獲取的計數(shù)靈敏度，配合二次濾光器機(jī)構(gòu)實現(xiàn)的檢出效果
數(shù)字脈沖處理	4096通道數(shù)字多道分析器，數(shù)字光譜處理過程可獲取的信號采集(每秒計數(shù)量)，從而保證測量統(tǒng)計結(jié)果
手動或自動透鏡控制	手動透鏡控制：通過手動調(diào)整DIM旋鈕控制分析聚焦距離
手動或自動透鏡控制	自動透鏡控制：激光束自動尋找DIM系統(tǒng)的分析聚焦距離
自由距離測定	簡化系統(tǒng)設(shè)置和維護(hù)
	在聚焦距離范圍內(nèi)僅需要一個校正
	對不規(guī)則樣品更靈活的測量
	在12.7mm-88.9mm的自由距離內(nèi)，可準(zhǔn)確測量樣品表面的任何一點
	通過DIM旋鈕或使用自動激光聚焦功能，可快速、準(zhǔn)確的確定聚焦距離
附帶自動透鏡功能的自動激光聚焦	*的、自動樣品擺放系統(tǒng)
	激光掃描單鍵啟動
	消除樣品碰擊Z軸的機(jī)會
	改善DIM的聚焦過程
標(biāo)準(zhǔn)激光聚焦	標(biāo)準(zhǔn)激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上，自動尋找正確的Z軸位置，提高分析再現(xiàn)性，結(jié)果不受人為操作的影響
	Z軸聚焦掃描單鍵啟動
	改善DIM和常規(guī)固定焦距測量時的聚焦過程
微小準(zhǔn)直器	儀器至少裝備一個客戶規(guī)格的準(zhǔn)直器以化測量，并提高測量效率
	備有各種規(guī)格準(zhǔn)直器(0.015mm – 0.5mm),園形或矩形供客戶選用
	多準(zhǔn)直器程序交換系統(tǒng)可同時安裝4個準(zhǔn)直器
大樣品室設(shè)計	方便超大樣品的推拉式平臺：如大面積PCB板、較長的管材樣品
	大型開發(fā)式樣品室：方便于從各方向進(jìn)樣和觀察樣品
	三種樣品臺備選：可編程XY軸樣品臺、手動XY軸樣品臺、固定位置樣品臺
	標(biāo)準(zhǔn)配置自動化Z軸：高度230mm
集成化計算機(jī)	工作站式設(shè)計：改善人機(jī)工程學(xué)、方便使用
	簡化設(shè)備安裝：僅需要接入主電源線，沒有其他電纜
	減少整機(jī)占用空間
	USB和Ethernet接口：打印機(jī)、刻錄機(jī)、局域網(wǎng)和遠(yuǎn)程在線支持功能
其他硬件特點	CCD相機(jī)擁有2x、3x或4x的變焦功能，可實現(xiàn)對測定樣品的高分辨、實時、彩色圖像觀測
	溫度補(bǔ)償功能監(jiān)測系統(tǒng)溫度，并自動校正由于溫度變化可能引起的儀器漂移，保證長期的儀器穩(wěn)定性的儀器漂移，保證長期的儀器穩(wěn)定性
	光譜校準(zhǔn)、單擊鼠標(biāo)執(zhí)行系統(tǒng)性能自檢和校正程序保證儀器長期的穩(wěn)定性
	堅實耐用的儀器設(shè)計適用于各種工業(yè)環(huán)境
	一體化工作站設(shè)計實現(xiàn)的人機(jī)工程學(xué)