表面檢查燈，從廣義上來說：檢查表面情況的燈具都是表面檢查燈。有的因為被用于不同材質(zhì)表面檢查不同的情況，而被命名多種。表面檢查燈主要用于檢查玻璃、屏幕、晶圓等材質(zhì)表面瑕疵（微塵、刮花）和管道等脫脂清洗后的情況，其他的表面檢查燈，根據(jù)應(yīng)用的材質(zhì)不同而被不同命名。
1、檢查屏幕、晶圓、玻璃、面板，基板等材質(zhì)表面檢查燈，主要為綠光、橙黃光、黃綠光，樣式有手電筒式、手持式、桌面式（坐式和夾式），懸掛式；
2、金屬表面探傷檢查，也叫紫外線探傷燈（黑光燈）或無損探傷燈，有LED的也還有傳統(tǒng)高壓氣體的，樣式有手電筒式、頭戴式、桌面式、燈條式、懸掛式；
3、檢查管道、閥門等脫脂清洗后是否還殘留油脂，主要為紫外線檢查燈，樣式主要為手電筒式和手持式，易于攜帶，方便操作；
4、液壓系統(tǒng)、閥門等泄露檢查，被稱為熒光撿漏燈，主要是藍(lán)光和紫外線，樣式主要為手電筒式和手持式；配合撿漏劑檢查，撿漏劑主要分為油基和水基撿漏劑；
5、檢查肉眼看不到的體液，如：精液、汗液、等，被稱為刑警法醫(yī)檢查燈，主要樣式為手電筒式和手持式；
6、用于實驗室，檢查動植物蛋白。
綠光表面檢查燈利用了介于500nm波長以上眼睛感覺Z舒服的波段，來做透明玻璃或是鏡面不銹綱工作對象particle及刮傷判別檢查。3300應(yīng)用場合在晶圓、光盤片、曝光玻璃、玻璃光罩、底片、LCD ITO等表面之顆粒Particle異物及刮痕檢查。需要指出的是，該儀器只是對本來存在顆粒異物等的“放大"作用，為主觀判斷的表面檢查燈。
