表面形貌儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè)，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測(cè)儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成本，從而提率。
表面形貌儀測(cè)量原理：
低相干白光同時(shí)照射樣品和參考平面，被樣品和參考平面反射的兩束白光發(fā)生干涉后由陣列式CMOS探測(cè)器接收，由于探測(cè)器直接與信號(hào)處理芯片連接，所以陣列上每個(gè)像素點(diǎn)的信號(hào)都在芯片中完成鎖相放大，背景信號(hào)補(bǔ)償和結(jié)果計(jì)算輸出，成像于計(jì)算機(jī)就實(shí)現(xiàn)了樣品表面的快速三維形貌測(cè)量。
雙模式三維表面形貌儀——共焦
可快速垂直掃描的旋轉(zhuǎn)盤共焦技術(shù)。
使用高數(shù)值孔徑 (0.95) 以及高倍數(shù)的 (150X) 3D全視野3D鏡頭，用以表征坡度分析 (zui大斜率<干涉測(cè)量>: 72o vs 44o) 。
具有光學(xué)形貌上zui高的橫向分辨率，附有5百萬自動(dòng)分辨率的CCD相機(jī)， 空間下樣可調(diào)至0.05um，是表面特征以及形貌的測(cè)量的*配置。
在測(cè)量表面粗糙度/表面反射率上無限制(0.1%- 100%)
應(yīng)用于透明層/薄膜。
兼容亮視野&暗視野; 光學(xué)DIC。
長(zhǎng)距離遠(yuǎn)攝鏡頭是用以測(cè)量高縱橫比以及坡度特性的理想之選。
*的穩(wěn)定性。
表面形貌儀產(chǎn)品特性：
1、采用白光共聚焦色差技術(shù)，可獲得納米級(jí)的分辨率。
2、測(cè)量具有非破壞性，測(cè)量速度快，度高。
3、測(cè)量范圍廣，可測(cè)透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料。
4、尤其適合測(cè)量高坡度高曲折度的材料表面。
5、不受樣品反射率的影響。
6、不受環(huán)境光的影響。
7、測(cè)量簡(jiǎn)單，樣品無需特殊處理。
8、Z方向,測(cè)量范圍大：為27mm。
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