浙江珂勒曦動(dòng)力設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 螺桿鼓風(fēng)機(jī),螺桿真空泵,螺桿空壓機(jī) |
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主營(yíng)產(chǎn)品: 螺桿鼓風(fēng)機(jī),螺桿真空泵,螺桿空壓機(jī) |
參考價(jià) | ¥ 80000 |
訂貨量 | 1臺(tái) |
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更新時(shí)間:2023-07-27 15:49:36瀏覽次數(shù):362
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化工用真空泵機(jī)組在半導(dǎo)體制造業(yè)中的運(yùn)用化工用真空泵機(jī)組在半導(dǎo)體制造業(yè)中的運(yùn)用
真空泵機(jī)組在半導(dǎo)體制造業(yè)中有很多種不同的真空泵機(jī)組。我們把它們分成兩類(lèi):初級(jí)泵和高級(jí)真空泵機(jī)組。初級(jí)泵有幾種用途:在腔內(nèi)創(chuàng)造近似中級(jí)真空(壓力小于10-3托);清空多腔集成設(shè)備中接收硅片的區(qū)域(如真空鎖);為高級(jí)真空泵機(jī)組用來(lái)獲得壓力,范圍10-3托到10-9托的。
新型晶片廠中使用的現(xiàn)代真空泵機(jī)組是干性的,意味著其內(nèi)部沒(méi)有任何可能回流到工藝腔中沾污硅片的油或潤(rùn)滑劑。 要先用機(jī)械泵將系統(tǒng)抽至低真空,再接通擴(kuò)散泵冷凝水.然后逐漸加熱使油沸騰并正?;亓骱笤賳?dòng)油擴(kuò)散泵。關(guān)閉油擴(kuò)散泵時(shí).需先切斷加熱器電源,待油停止沸騰后再關(guān)冷凝水,再關(guān)閉擴(kuò)散泵前后兩個(gè)活塞,接著將機(jī)械泵的抽氣日通大氣后才能停機(jī)械泵.通常在機(jī)械泵和油擴(kuò)散泵之前安一冷阱,以免有機(jī)物、水汽等雜質(zhì)進(jìn)入機(jī)械泵,影響泵的工作性能。冷阱的冷卻荊可按需要選用干冰、液氮等。 對(duì)玻璃真空系統(tǒng)的檢漏,使用高頻火花真空檢漏儀較方便。它是利用低壓強(qiáng)氣體在高頻電場(chǎng)中,發(fā)生感應(yīng)放電時(shí)所產(chǎn)生的不同顏色。
化工用真空泵-珂勒曦螺桿真空泵,單極突破0.1pa極限真空,可長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,并且針對(duì)國(guó)內(nèi)高溫差、高濕度、高粉塵環(huán)境做了針對(duì)性優(yōu)化,更適應(yīng)國(guó)內(nèi)的各類(lèi)工況環(huán)境,實(shí)際應(yīng)用實(shí)現(xiàn)更低故障率,更低能耗,更高能效。廣泛應(yīng)用于電子光伏、包裝行業(yè)、真空模擬、風(fēng)洞實(shí)驗(yàn)和造紙與印刷等各種生產(chǎn)行業(yè)。
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