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美國光動激光干涉儀的校準步驟
點擊次數(shù)：1630 發(fā)布時間：2022-4-3
美國光動激光干涉儀的校準步驟
美國光動激光干涉儀是檢定數(shù)控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標準處理測量數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機床的誤差修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤為方便。美國光動激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。美國光動激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。美國光動激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，可按預定的間距自動完成檢測和刻劃定位。
美國光動激光干涉儀采用美國進口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，美國光動激光干涉儀實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，美國光動激光干涉儀實現(xiàn)快速(5~10分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗*力強、*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計算機進行顯示和動態(tài)分析。
美國光動激光干涉儀校準步驟：先近后遠，近調(diào)上下左右，遠調(diào)俯仰扭擺。
1、架設好激光頭后，先將激光頭的左右、俯仰、扭擺居中，再將美國光動激光干涉儀激光頭調(diào)至水平，在激光頭上安裝好標準光閘。
2、將線性干涉鏡和測量反射鏡置于較近位置，調(diào)節(jié)美國光動激光干涉儀干涉鏡與反射鏡之間的相對位置，使反射回來的兩束光線*重合，調(diào)節(jié)三角架使重合后的反射光線進入回光孔，保證五個光強指示燈全亮。此處請勿大范圍調(diào)節(jié)美國光動激光干涉儀激光頭上的俯仰和扭擺旋鈕，微調(diào)。
3、將線性干涉鏡與測量反射鏡距離zui遠，根據(jù)近、遠端光線照射的位置，可判斷出激光頭發(fā)出光線的傾斜方向，扭擺三角架使激光頭向傾斜方向的相反方向扭擺，再平移三角架使激光大致照射在干涉鏡正中偏上1/2處。查看光閘，若無兩束光線返回，則繼續(xù)扭擺和移動三角架，直至兩光點出現(xiàn)，并使兩光點相距較近。
4、微調(diào)俯仰、扭擺，使兩束反射光線*重合。
5、通過升降三角架和調(diào)節(jié)美國光動激光干涉儀激光頭的左右位置，使重合后的反射光束射入回光孔。
6、查看五個光強指示燈是否全亮，若無，請重復步驟2~5，直至近、遠兩端位置，五個光強指示燈全亮。
7、美國光動激光干涉儀安放補償元件，進行線性測量。