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1、真空泵油密封：排氣閥用真空泵油密封，可以防止大氣經排氣閥返入泵內，保證排氣閥關閉時有良好的氣密性。

2、真空泵油潤滑：通過油路，排氣閥及裝配間隙滲入泵膠，對泵的各個運動部件，如轉子、選片、軸承和軸封以及摩擦面等起潤滑和冷卻作用

3、真空泵油保護：泵油能填充有害空間，減少其中的高壓殘余氣體，從而大大減少有害空間對極限真空的影響，當真空度較高時，進入吸氣空間的氣體量很少，經壓縮后的氣體壓強仍推不開排氣閥片，此時，可借助泵油將排氣閥強行推開，使被抽氣體能順利地排出

4、真空泵油冷卻：泵油在泵內與油箱間循環(huán)，散熱，冷卻。