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2025-03-15
型號:GP200-SiPH
8英寸硅光測試手動探針臺
硅光探針臺應(yīng)用:GP200-SIP系列8英寸探針臺包含硅光芯片的DC&RF&OO測試所需的完整配置,在短時間內(nèi)可準確地完成芯片的參數(shù)測試與提取。
XY行程 | 快速定位行程:210mm×210mm; 精調(diào)行程: 210mm×210mm , 精調(diào)分辨率:≤ 1.0 μm;驅(qū)動方式:手動 |
Z軸行程 | 10mm;驅(qū)動方式:手動 |
Theta旋轉(zhuǎn) | 快速旋轉(zhuǎn)角度:360°;精調(diào)角度:±15°,精調(diào)分辨率:<0.02°;驅(qū)動方式:手動 |
Chuck臺 | 尺寸:203mm(8inch) ;真空盤可調(diào)節(jié)高度:±5mm 真空快速切換開關(guān),真空調(diào)節(jié)檔位:Center、2’、4’、8’ 安裝方式:真空盤與主體絕緣 |
臺面精度 | 平面度:<10 μm |
快速拉出結(jié)構(gòu) | 行程:100mm |
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