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2025-03-14
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型號(hào):GP200-SiPH
8英寸硅光測(cè)試手動(dòng)探針臺(tái)
硅光探針臺(tái)應(yīng)用：GP200-SIP系列8英寸探針臺(tái)包含硅光芯片的DC&RF&OO測(cè)試所需的完整配置，在短時(shí)間內(nèi)可準(zhǔn)確地完成芯片的參數(shù)測(cè)試與提取。
XY行程 | 快速定位行程：210mm×210mm； 精調(diào)行程： 210mm×210mm ， 精調(diào)分辨率：≤ 1.0 μm；驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng) |
Z軸行程 | 10mm；驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng) |
Theta旋轉(zhuǎn) | 快速旋轉(zhuǎn)角度：360°；精調(diào)角度：±15°，精調(diào)分辨率：＜0.02°；驅(qū)動(dòng)方式：手動(dòng) |
Chuck臺(tái) | 尺寸:203mm(8inch) ；真空盤可調(diào)節(jié)高度：±5mm 真空快速切換開關(guān)，真空調(diào)節(jié)檔位：Center、2’、4’、8’ 安裝方式：真空盤與主體絕緣 |
臺(tái)面精度 | 平面度：＜10 μm |
快速拉出結(jié)構(gòu) | 行程：100mm |
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