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1、技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)生出的等離子尺度約1.2*10mm；

等離子體邊緣有沖擊波密度增強(qiáng)；

等離子體密度10*e-17~10*e-19cm-3；

噴氣時間可控，延時可控；

噴嘴可承受的氣壓約8MPa；

真空中漏氣率小于10-4torr。

2、裝置組成：

控制器（LX-03R）——對電磁閥進(jìn)行開關(guān)控制，并與外部信號實現(xiàn)同步；

電磁閥（A2-6系列）——受控制器控制，在真空中產(chǎn)生超聲波脈沖式的氣流；

特殊構(gòu)型噴嘴（MS系列）——根據(jù)空氣動力學(xué)設(shè)計，對脈沖氣流進(jìn)行約束整形，獲得利于激光等離子體相互作用的超聲波束流。

        日本SMARTSHELL超音速氣體噴嘴系統(tǒng)采用特殊的狹縫噴嘴，在微小區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生局部均勻的氣體射流，閥門可通過適當(dāng)?shù)尿?qū)動脈沖控制高速開合（100-200μs），即使在10MPa的情況下，閥門也能打開并提供穩(wěn)定的噴射氣流。并且日本SMARTSHELL超音速氣體噴嘴Smartshot系列已經(jīng)在2004年4月2日通過日本國特許廳申請，號為2004-100878。

        根據(jù)氣體的密度和種類，目標(biāo)尺寸，流量，氣體壓強(qiáng)等選配不同系列內(nèi)的不同型號。