閱讀排名更多
-
官宣 | 率先突破，中侖新材成功研發(fā)固態(tài)電池專用BOPA中侖新材成員企業(yè)長塑實(shí)業(yè)正式官宣高性能膜材自.... 5中國內(nèi)燃機(jī)工業(yè)協(xié)會與飛書達(dá)成項(xiàng)目合作 共建“動力智慧服務(wù)平臺”
企業(yè)直播更多
-
直播回放
-
直播回放
推薦展會更多
【百分零部件網(wǎng) 技術(shù)前沿】EUV光刻機(jī)全球也只有ASML公司能夠研發(fā)、生產(chǎn)，但它的技術(shù)限制也很多，俄羅斯計(jì)劃開發(fā)全新的EUV光刻機(jī)，使用的是X射線技術(shù)，不需要光掩模就能生產(chǎn)芯片。
光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備之一，EUV光刻機(jī)全球也只有ASML公司能夠研發(fā)、生產(chǎn)，但它的技術(shù)限制也很多，俄羅斯計(jì)劃開發(fā)全新的EUV光刻機(jī)，使用的是X射線技術(shù)，不需要光掩模就能生產(chǎn)芯片。
光刻機(jī)的架構(gòu)及技術(shù)很復(fù)雜，不過決定光刻機(jī)分辨率的主要因素就是三點(diǎn)，分別是常數(shù)K、光源波長及物鏡的數(shù)值孔徑，波長越短，分辨率就越高，現(xiàn)在的EUV光刻機(jī)使用的是極紫外光EUV，波長13.5nm，可以用于制造7nm及以下的先進(jìn)工藝工藝。
俄羅斯莫斯科電子技術(shù)學(xué)院 (MIET)現(xiàn)在就接下了貿(mào)工部的6.7億盧布資金(約合5100萬元人民幣)，也要開發(fā)制造芯片的光刻機(jī)，而且號稱要達(dá)到EUV級別，但技術(shù)原理完全不同，他們研發(fā)的是基于同步加速器和/或等離子體源”的無掩模X射線光刻機(jī)。
X射線光刻機(jī)使用的是X射線，波長介于0.01nm到10nm之間，比EUV極紫外光還要短，因此光刻分辨率要高很多。
此外，X射線光刻機(jī)相比現(xiàn)在的EUV光刻機(jī)還有一個(gè)優(yōu)勢，那就是不需要光掩模版，可以直寫光刻，這也節(jié)省了一大筆費(fèi)用。
正因?yàn)橛羞@么兩個(gè)特點(diǎn)，俄羅斯要研發(fā)的X射線光刻機(jī)優(yōu)勢很大，甚至被當(dāng)?shù)氐拿襟w宣傳為全球都沒有的光刻機(jī)，ASML也做不到。
從相關(guān)資料來看，全球確實(shí)沒有能達(dá)到規(guī)模量產(chǎn)的X射線光刻機(jī)，不過這種技術(shù)并不是現(xiàn)在才有，不僅美國、歐洲研究過，國內(nèi)也有科研機(jī)構(gòu)做了X射線光刻機(jī)，只是生產(chǎn)芯片的效率跟ASML的光刻機(jī)不能比的，只適合特定場景。
不過俄羅斯在X射線及等離子之類的技術(shù)上有深厚的基礎(chǔ)，倒是可以期待下他們在新型光刻機(jī)上能走多遠(yuǎn)。
原標(biāo)題:投資5000多萬 俄羅斯計(jì)劃研發(fā)全新EUV光刻機(jī)：ASML都沒有
版權(quán)與免責(zé)聲明：1.凡本網(wǎng)注明“來源：百分零部件網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-興旺寶合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：百分零部件網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。 2.本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非百分零部件網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)或和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。 3.如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
相關(guān)新聞
-
泰瑞亮相俄羅斯ROSMOULD&ROSPLAST國際模具塑料展覽會
6月18日，泰瑞攜最新產(chǎn)品NEO·T120亮相2024俄羅斯國際模具塑料展覽會ROSMOULD&ROSPLAST，展位號【A3-3216】。- 2024-06-21 10:26:37
- 180
-
博創(chuàng)盛大亮相俄羅斯塑料橡膠展覽會Rosplast 2024
博創(chuàng)深耕俄羅斯市場17年，自2018年俄羅斯子公司成立以來，博創(chuàng)在本地市場建立了堅(jiān)實(shí)的客戶基礎(chǔ)，并通過本土化服務(wù)，贏得俄羅斯及周邊國家客戶的廣泛認(rèn)可。- 2024-06-21 10:24:56
- 166
-
各國芯片技術(shù)迎來新變革 國產(chǎn)替代步伐不斷提速
越來越多國家加快研發(fā)全新的芯片制造技術(shù)、光刻機(jī)技術(shù)，推動芯片國產(chǎn)替代，著力擺脫芯片面臨著被“卡脖子”的困境。對于我國，光刻機(jī)一項(xiàng)核心技術(shù)現(xiàn)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)重大突破，這一突破，有望在芯片制造技術(shù)上打破荷蘭的壟斷！- 2022-04-19 10:48:08
- 578
網(wǎng)站客服
昵稱 驗(yàn)證碼 請輸入正確驗(yàn)證碼
所有評論僅代表網(wǎng)友意見，與本站立場無關(guān)