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國產氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內的流量傳感器芯片，結合高速采樣處理技術和數(shù)字補償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質量流量控制器產品。該產品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機電流量芯片等，具有精度高、響應速度快、穩(wěn)定性好等特點。在輸出方面，帶有工業(yè)級液晶觸控顯示屏，具備流量設置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數(shù)字通信方式。

國產氣體質量流量控制器產品應用于：半導體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過程控制

青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園，孵化自山東大學。公司以高端氣體質量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導體核心零部件的研發(fā)、生產和銷售為主營業(yè)務，通過自主創(chuàng)新、產學研合作及成果轉化、行業(yè)整合等手段，實現(xiàn)快速發(fā)展，助力國家半導體產業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專利21項，實用新型專利12項，國家一級計量證書、CE認證、TUV?EMC認證、防爆認證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構建了全鏈條技術能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學院、山東大學、中科院、復旦大學等科研機構以及國內知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國內一流研發(fā)團隊。
????????公司獲評國家高新技術企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè)，承建有青島市先進傳感器重點實驗室、青島市先進氣體流量測控技術工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機構，并承擔多項科技部重點研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點項目等國家及省部級技術攻關課題。
????????公司現(xiàn)有千級和萬級潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設有制造基地和研發(fā)中心，全面保障產品的高質量、快速出貨能力，并提供專業(yè)的售前售后服務。