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　　環(huán)保質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于業(yè)內(nèi)流量傳感器芯片，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。在輸出方面，帶有工業(yè)級液晶觸控顯示屏，具備流量設(shè)置、瞬時流量和累積流量顯示等功能。輸出信號可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號，以及RS485等數(shù)字通信方式。
 

　　產(chǎn)品應(yīng)用于：半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制
 

　　環(huán)保質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
 

　　溫度和壓力不敏感
 

　　高精度及*的零點(diǎn)穩(wěn)定性
 

　　超快的響應(yīng)速度及穩(wěn)定時間
 

　　良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
 

　　寬電壓輸入，多種信號輸出方式
 

　　采用液晶觸控顯示和便捷控制
 

　　配備比例電磁閥
 

青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園，孵化自山東大學(xué)。公司以高端氣體質(zhì)量流量計/控制器（MFC）、薄膜真空計（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導(dǎo)體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營業(yè)務(wù)，通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段，實現(xiàn)快速發(fā)展，助力國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專利21項，實用新型專利12項，國家一級計量證書、CE認(rèn)證、TUV?EMC認(rèn)證、防爆認(rèn)證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構(gòu)建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院、山東大學(xué)、中科院、復(fù)旦大學(xué)等科研機(jī)構(gòu)以及國內(nèi)知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國內(nèi)一流研發(fā)團(tuán)隊。
????????公司獲評國家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè)，承建有青島市先進(jìn)傳感器重點(diǎn)實驗室、青島市先進(jìn)氣體流量測控技術(shù)工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機(jī)構(gòu)，并承擔(dān)多項科技部重點(diǎn)研發(fā)計劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點(diǎn)項目等國家及省部級技術(shù)攻關(guān)課題。
????????公司現(xiàn)有千級和萬級潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設(shè)有制造基地和研發(fā)中心，全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力，并提供專業(yè)的售前售后服務(wù)。