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新一代工業(yè)級(jí)流量傳感器芯片與氣路結(jié)構(gòu)的結(jié)合

數(shù)字質(zhì)量流量控制器：采用公司自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)流量傳感器芯片，結(jié)合低壓損氣路結(jié)構(gòu)以及高精度數(shù)字控制電路和算法，實(shí)現(xiàn)寬溫范圍內(nèi)的高精度、高穩(wěn)定性、寬量程比控制。該產(chǎn)品配備現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試屏及獨(dú)立供電接口，適配半導(dǎo)體 、真空鍍膜、光伏及其它各類應(yīng)用環(huán)境 。

   基于科學(xué)家托馬斯提出的“氣體的吸熱量或放熱量與氣體的質(zhì)量流量成正比”理論發(fā)展而來(lái)。無(wú)氣流時(shí)，以Heater為中心的溫度場(chǎng)對(duì)稱分布；有氣流時(shí)，溫度場(chǎng)分布發(fā)生偏移，導(dǎo)致上下游出現(xiàn)溫差，通過(guò)測(cè)量該溫差，即可推算出流過(guò)芯片表面的氣體質(zhì)量流量。

   青島芯笙MFC-S500系列氣體質(zhì)量流量控制器，具有*的氣體流道設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)靈活的分流比配置，量程覆蓋1sccm~120slm，最小控制精度為0.1sccm，0~50℃溫度范圍漂移量?jī)H為0.4~0.6%。在電學(xué)信號(hào)方面，提供多種數(shù)字和模擬控制方式，并配備工業(yè)級(jí)顯示屏，方便客戶現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試和配置。

青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國(guó)際創(chuàng)新園，孵化自山東大學(xué)。公司以高端氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器（MFC）、薄膜真空計(jì)（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導(dǎo)體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營(yíng)業(yè)務(wù)，通過(guò)自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段，實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展，助力國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專利21項(xiàng)，實(shí)用新型專利12項(xiàng)，國(guó)家一級(jí)計(jì)量證書、CE認(rèn)證、TUV?EMC認(rèn)證、防爆認(rèn)證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構(gòu)建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來(lái)自新加坡微電子研究院、德國(guó)卡爾斯魯厄理工學(xué)院、山東大學(xué)、中科院、復(fù)旦大學(xué)等科研機(jī)構(gòu)以及國(guó)內(nèi)知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國(guó)內(nèi)一流研發(fā)團(tuán)隊(duì)。
????????公司獲評(píng)國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè)，承建有青島市先進(jìn)傳感器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、青島市先進(jìn)氣體流量測(cè)控技術(shù)工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機(jī)構(gòu)，并承擔(dān)多項(xiàng)科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點(diǎn)項(xiàng)目等國(guó)家及省部級(jí)技術(shù)攻關(guān)課題。
????????公司現(xiàn)有千級(jí)和萬(wàn)級(jí)潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設(shè)有制造基地和研發(fā)中心，全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力，并提供專業(yè)的售前售后服務(wù)。