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　　MFC-E系列緊湊型質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controll e r)是 一 款 專 為 氣 體 分 析 儀 、質(zhì) 譜 儀 、配 氣 儀 等 行 業(yè) 所 開 發(fā) 的 一 款 高 精 度 、低 溫 漂 、高 可 靠 性 的 氣 體 質(zhì) 量 流 量 控 制 器 產(chǎn) 品 。該 產(chǎn) 品 配 備 有 高 精 度 流 量 傳 感 器 、進(jìn) 電 磁 比 例 閥 、3 1 6 L 不 銹 鋼 氣 路 座 等，具 有 精 度 高 、響 應(yīng) 速 度 快 、穩(wěn) 定 性 好 等 優(yōu) 點(diǎn) 。操 作 使 用 方 便，可 廣 泛 用 于 。輸 出 和 控 制 信號(hào)包括：0-5V模擬信號(hào)和RS485數(shù)字通信方式 。
 

　　緊湊型質(zhì)量流量控制器 產(chǎn)品應(yīng)用于：半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工(石化)等過程控制、氣體混合配比
 

　　緊湊型質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)：
 

　　溫度和壓力不敏感
 

　　設(shè)計(jì)勁湊，可安裝任意位置
 

　　超快的響應(yīng)速度
 

　　良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性
 

　　可模擬采集、控制或數(shù)字采集、控制
 

青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國(guó)際創(chuàng)新園，孵化自山東大學(xué)。公司以高端氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器（MFC）、薄膜真空計(jì)（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導(dǎo)體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營(yíng)業(yè)務(wù)，通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段，實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展，助力國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專利21項(xiàng)，實(shí)用新型專利12項(xiàng)，國(guó)家一級(jí)計(jì)量證書、CE認(rèn)證、TUV?EMC認(rèn)證、防爆認(rèn)證等各類證書30余份，從核心芯片到模組、算法構(gòu)建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來自新加坡微電子研究院、德國(guó)卡爾斯魯厄理工學(xué)院、山東大學(xué)、中科院、復(fù)旦大學(xué)等科研機(jī)構(gòu)以及國(guó)內(nèi)知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國(guó)內(nèi)一流研發(fā)團(tuán)隊(duì)。
????????公司獲評(píng)國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專精特新”企業(yè)，承建有青島市先進(jìn)傳感器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、青島市先進(jìn)氣體流量測(cè)控技術(shù)工程中心、青島市專家工作站等研發(fā)機(jī)構(gòu)，并承擔(dān)多項(xiàng)科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點(diǎn)項(xiàng)目等國(guó)家及省部級(jí)技術(shù)攻關(guān)課題。
????????公司現(xiàn)有千級(jí)和萬(wàn)級(jí)潔凈廠房3000余平米，在青島、深圳、濰坊等地設(shè)有制造基地和研發(fā)中心，全面保障產(chǎn)品的高質(zhì)量、快速出貨能力，并提供專業(yè)的售前售后服務(wù)。