安捷倫 800 L/s 渦輪分子泵 TwisTorr 804 FS 將 TwisTorr 拖動級技術(shù)和安捷倫懸浮軸承 (FS) 技術(shù)相結(jié)合,具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟性。這款渦輪分子泵借助渦輪級與創(chuàng)新的 TwisTorr 拖動級之間的協(xié)同作用,可提供更高的真空性能。懸浮軸承確保低振動和低噪音,適用于對振動敏感的儀器和工作環(huán)境。
這款配備 ISO 200K、250K 和 CFF 10 英寸抽氣口法蘭的 800 L/s 渦輪分子泵適用于多種應(yīng)用,包括研發(fā)、UHV 系統(tǒng)、核研究、離子注入器、表面分析、電子顯微鏡和低溫技術(shù)。
安捷倫還提供 TwisTorr FS-OS 渦輪分子泵,為嚴(yán)苛條件下長期運行的學(xué)術(shù)、研究和其他應(yīng)用特殊設(shè)計。
TwisTorr 804 FS 適用于一體式控制器或機架控制器。
抽速: | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s | ||
氣體通量 (*) | 風(fēng)冷 (空氣溫度 25 °C) | 水冷 (水溫 15 °C/室溫 25 °C) | |
N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM | |
He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM | |
Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM | |
(*) 前級泵 11.6 m3/h | |||
壓縮比與前級耐壓* | |||
N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar | |
(*) 前級耐壓定義為,在水冷模式下,當(dāng)渦輪泵仍能產(chǎn)生 100 的壓縮比時的壓力 | |||
采用推薦前級泵時的極限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) | ||
抽氣口法蘭 | ISO 200K,ISO 200F,ISO 250K, ISO 250F,CFF 10 英寸 | ||
前級管道法蘭 | NW25 或 NW40 | ||
推薦的前級泵 | DS302 IDP10 IDP15 | ||
操作位置 | 任意位置 | ||
操作環(huán)境溫度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
潤滑油 | 性油脂潤滑 | ||
冷卻要求 | |||
風(fēng)冷 | 空氣溫度 +5 °C 至 35 °C | ||
水冷 | 水溫由 +15 °C 至 +25 °C 水流速 100 L/h | ||
噪聲聲壓級 (全速運行時距離 1 m 處) | 43 dB(A) |