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國(guó)產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）是基于業(yè)內(nèi)的流量傳感器芯片，結(jié)合高速采樣處理技術(shù)和數(shù)字補(bǔ)償算法，所開(kāi)發(fā)的一款智能化、高精度的氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、316L不銹鋼氣路座、高精度微機(jī)電流量芯片等，具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)。在輸出方面，帶有工業(yè)級(jí)液晶觸控顯示屏，具備流量設(shè)置、瞬時(shí)流量和累積流量顯示等功能。輸出信號(hào)可選擇：4-20mA和1-5V模擬信號(hào)，以及RS485等數(shù)字通信方式。

國(guó)產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品應(yīng)用于：半導(dǎo)體加工、分析和環(huán)保、燃燒控制器、真空技術(shù)、表面處理、食品和制藥、化工（石化）等過(guò)程控制

青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國(guó)際創(chuàng)新園，孵化自山東大學(xué)。公司以高端氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器（MFC）、薄膜真空計(jì)（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導(dǎo)體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售為主營(yíng)業(yè)務(wù)，通過(guò)自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段，實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展，助力國(guó)家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專(zhuān)利21項(xiàng)，實(shí)用新型專(zhuān)利12項(xiàng)，國(guó)家一級(jí)計(jì)量證書(shū)、CE認(rèn)證、TUV?EMC認(rèn)證、防爆認(rèn)證等各類(lèi)證書(shū)30余份，從核心芯片到模組、算法構(gòu)建了全鏈條技術(shù)能力。核心研發(fā)成員來(lái)自新加坡微電子研究院、德國(guó)卡爾斯魯厄理工學(xué)院、山東大學(xué)、中科院、復(fù)旦大學(xué)等科研機(jī)構(gòu)以及國(guó)內(nèi)知名儀器儀表企業(yè)，全力打造國(guó)內(nèi)一流研發(fā)團(tuán)隊(duì)。
????????公司獲評(píng)國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)、青島市“專(zhuān)精特新”企業(yè)，承建有青島市先進(jìn)傳感器重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、青島市先進(jìn)氣體流量測(cè)控技術(shù)工程中心、青島市專(zhuān)家工作站等研發(fā)機(jī)構(gòu)，并承擔(dān)多項(xiàng)科技部重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃、山東省重大創(chuàng)新工程、青島市重點(diǎn)項(xiàng)目等國(guó)家及省部級(jí)技術(shù)攻關(guān)課題。
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