利用XY階段的協(xié)同效果而達(dá)成高生產(chǎn)量,并且借由高速晶圓處理和驅(qū)動(dòng)單元?jiǎng)?chuàng)造高速和優(yōu)良的無(wú)聲性。
此外,Z軸可達(dá)成高標(biāo)準(zhǔn)的負(fù)載度和高精確度。它採(cǎi)用具備原始可操作性的大顯示屏幕,因此可進(jìn)一步改善可操作性。
它可接納每一種針測(cè)環(huán)境,并結(jié)合了廣泛多樣選擇的彈性。
■QPU-超級(jí)高硬度卡盤(pán)(四軸單元)
為有效率的得到定位的精確度,每一部分的高硬度都十分重要。UF3000使用Z軸的四軸驅(qū)動(dòng)機(jī)制(QPU)新科技,因此可達(dá)到高硬度且穩(wěn)定的探針接觸。
■負(fù)載端口
針測(cè)環(huán)境可滿足使用者需求,并能在8英寸與12英寸卡匣的共同平臺(tái)與檢查盤(pán)的前端配置使用。此機(jī)器也適用于AMHS(自動(dòng)材料處理系統(tǒng))。
■TGG接觸即可
追求簡(jiǎn)單的操作,UF3000采用能移動(dòng)至您所觸摸的地圖上的位置或是觸控板上所顯示的影像的功能。 安裝簡(jiǎn)單,而且使用者可定義屏幕配置。