創(chuàng)生源自動化依托本公司雄厚的技術(shù)力量, 自主研制了AWLB-PE6500系列全自動石墨框上下料一體機, 刻蝕制程后花籃中硅片自動上料至石墨框，背鈍化板式PECVD鍍膜制程完成后石墨框下料至花籃或堆棧片盒。整個上下料過程全自動控制，避免因人工裝片/卸片對硅片表面產(chǎn)生的污染且有效降低碎片率,有助于產(chǎn)能與良率比。
設(shè)備名稱: 在線PERC全自動石墨框上下料一體機
設(shè)備型號：AWLB-PE6500
設(shè)備用途：AWLB-PE6500全自動石墨框上下料一體機集上料與下料為一體,可從石墨框中把鍍膜后的硅片下料至花籃或堆棧片盒中,亦可從花籃中將刻蝕后的硅片上料至石墨框中。采用上料與下料可連續(xù)銜接方式，實現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)；也可單獨裝片或單獨卸片。
技術(shù)特點：
---- 可應(yīng)用于在線常規(guī)板式PECVD或背鈍化板式PECVD石墨框上下料.
---- 可應(yīng)用于156.75*156.75、160.75*160.75、162*162、166*166硅片.
---- 可應(yīng)用于50片、100片等不同規(guī)格的花籃.
---- 可應(yīng)用于4*6、5*6、6*6不同規(guī)格的石墨框.
---- 雙通道花籃上料，提高上料生產(chǎn)效率。
---- 雙通道花籃下料、疊片下料。
---- 兩側(cè)上下料通道之間花籃載板可自動回流.
---- 背鈍化板式PECVD與裝卸片機之間石墨舟自動回流.
---- 采用總線控制,裝卸片過程全自動；觸摸屏菜單操作,簡潔明了.
---- 具有完善的檢測報警系統(tǒng)，保證裝卸片自動運行穩(wěn)定，操作放心。
---- 可選支持MES接口和遠程診斷功能.
---- 可選在線隱裂片檢測、在線膜厚檢測、在線色差檢測及不良片剔除功能。
----可選匹配智能工廠AGV接駁口.
---- 產(chǎn)能：Max.6500Pcs/h
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