電極涂層厚度測量
測量要求
掃描一條線,以基板為基準面測量與涂層的段差即為涂層的厚度
主要特點概覽
1.非接觸式測量,一體化設計
2.適用范圍廣,裝拆方便
3.±0.5到±1μm重復精度保證
4.一線式掃描,速度可達到50mm/s,大大提高檢測速度
5.離線式檢測,厚度數(shù)據(jù)存儲,形成管理統(tǒng)計/分析基礎數(shù)據(jù)
6.豐富的報警功能,OK、NG提示,監(jiān)控測量全過程,管控品質(zhì),提高效率
測量結(jié)果
涂層厚度約為18μm±1μm
解決現(xiàn)階段測量裝置存在的問題
1.對測量材料有一定要求
2.接觸式測量,對測量材料有損壞
3.測量范圍小,位置不確定,測定困難
4.測量速度慢、精度低,測量誤差大
5.結(jié)構(gòu)復雜,成本高