1、技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)生出的等離子尺度約1.2*10mm;
等離子體邊緣有沖擊波密度增強;
等離子體密度10*e-17~10*e-19cm-3;
噴氣時間可控,延時可控;
噴嘴可承受的氣壓約8MPa;
真空中漏氣率小于10-4torr。
2、裝置組成:
控制器(LX-03R)——對電磁閥進行開關(guān)控制,并與外部信號實現(xiàn)同步;
電磁閥(A2-6系列)——受控制器控制,在真空中產(chǎn)生超聲波脈沖式的氣流;
特殊構(gòu)型噴嘴(MS系列)——根據(jù)空氣動力學設計,對脈沖氣流進行約束整形,獲得利于激光等離子體相互作用的超聲波束流。
日本SMARTSHELL超音速氣體噴嘴系統(tǒng)采用特殊的狹縫噴嘴,在微小區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生局部均勻的氣體射流,閥門可通過適當?shù)尿?qū)動脈沖控制高速開合(100-200μs),即使在10MPa的情況下,閥門也能打開并提供穩(wěn)定的噴射氣流。并且日本SMARTSHELL超音速氣體噴嘴Smartshot系列已經(jīng)在2004年4月2日通過日本國特許廳申請,號為2004-100878。
根據(jù)氣體的密度和種類,目標尺寸,流量,氣體壓強等選配不同系列內(nèi)的不同型號。