整機(jī)結(jié)構(gòu) | 前端設(shè)備操作單元、前端EFEM單元及等離子處理單元，前端EFEM系統(tǒng)與等離子體處理單元分體式設(shè)計 |
等離子體源 | 射頻式電感耦合等離子體源或雙頻等離子體源 |
反應(yīng)腔室 | 標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計為雙反應(yīng)腔室，可根據(jù)需求定制單反應(yīng)腔室和多反應(yīng)腔室結(jié)構(gòu) |
機(jī)械傳片 | 單臂或雙臂高精度機(jī)械手 |
Wafer升降 | 機(jī)械式Wafer pin升降結(jié)構(gòu)，Wafer pin采用特定工藝處理 |
真空泵 | 干式真空泵，根據(jù)安裝位置及工藝不同，選擇100-600m3/h規(guī)格。如工藝需求，可增加分子泵。 |
工藝壓力控制 | 自動調(diào)壓蝶閥 |
真空檢測 | 管道真空計、反應(yīng)腔室全量程真空計、工藝真空計 |
工藝氣體種類 | 標(biāo)準(zhǔn)配置Ar、N2、O2，可增加CF4及其他工藝氣體 |
氣體流量控制 | 質(zhì)量流量控制器（MFC） |
反應(yīng)腔室溫度范圍 | 50 - 280℃ |
控制系統(tǒng) | 基于工業(yè)電腦設(shè)計開發(fā)的人機(jī)交互系統(tǒng)，系統(tǒng)設(shè)計人性化、操作簡單 |
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深圳市奧坤鑫科技有限公司于2009年成立，是專注于等離子體表面處理設(shè)備的高科技技術(shù)企業(yè)。2010年成立昆山公司，立足華東，成立OKsun在長三角的銷售和代加工中心。2010年10月和其他科研機(jī)構(gòu)合作在蘇州成立等離子體科技與應(yīng)用研發(fā)中心，與江蘇多所大學(xué)合作，就等離子體科技做深入科研及工業(yè)應(yīng)用研究，成為擁有獨立自主等離子體研發(fā)能力的優(yōu)秀企業(yè)。OKsun品牌目前已經(jīng)擁有中頻、射頻等多款等離子處理機(jī)型，性能優(yōu)良，性價比；處理方式有水平、垂直、卷式RTR、轉(zhuǎn)鼓等真空等離子處理設(shè)備；另外還具有常壓（大氣）噴射式、大氣準(zhǔn)輝光式、隧道式、水平線等多種常壓等離子處理設(shè)備。OKsun品牌等離子體表面處理設(shè)備廣泛應(yīng)用于PCB制造、電子電路、電子電器、汽車制造、半導(dǎo)體制造、包裝、印刷、涂覆、高分子材料、塑膠五金、醫(yī)療器械、滅菌等行業(yè)，目前已經(jīng)成為真空等離子體處理設(shè)備優(yōu)秀生產(chǎn)企業(yè)，產(chǎn)品面涉及極為廣泛。我們倡導(dǎo)技術(shù)創(chuàng)新，以滿足客戶的個性化需求為已任，為客戶提供與等離子處理系統(tǒng)相關(guān)的技術(shù)支持服務(wù)，致力于成為的者！
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